同花顺300033）金融研究中心08月21日讯，有投资者向同飞股份300990）发问， 自2022年针对半导体职业需求研发了液冷、空冷、换热器等产品及解决方案。公司的SCFI-变频氟化液冷却机运用于半导体职业的刻蚀设备、涂布显影设备、试验机等场景;SCWI-变频水冷却机运用于半导体职业刻蚀设备、外延成长设备、光刻设备、CMP设备等运用场景;公司液体恒温设备在半导体制作设备范畴首要运用在于光刻机、刻蚀机、PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度操控，请问状况是否事实，公司有无相关专利？
公司答复表明，敬重的投资者您好，半导体器材制作设备是极端精细的机电产品，工艺进程中的温度动摇巨细关系到半导体产品的良品率和精度。公司半导体器材制作设备专用温控设备首要运用在于半导体器材加工工艺进程，经过多年的事务实践已形成了包括热工、操控、节能等范畴的中心技术，中心技术对应的专利掩盖工业温控设备的根底作业环节，并与下流中心运用范畴紧密结合。感谢您的重视。
